喷射真空泵：它是利用文丘里（VENTURI）效应的压力降生产的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵，适于在粘滞留和过渡流状态下工作。这种泵又可详细地分成以下几种：① 液体喷射真空泵：以液体（通常为水）为工作介质的喷射真空泵。② 气体喷射真空泵：以非可凝性气体作为工作介质的喷射真空泵。③ 蒸汽喷射真空泵：以蒸汽（水、油或蒸汽）作为工作介质的饿喷射真空泵
吸气剂泵：它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。升华泵即属于这种形式。吸气剂离子泵：它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上，以达到抽气的目的。它有如下几种型式。（1）蒸发离子泵：泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华（或蒸发）而覆在泵内壁的吸气材料上，以实现抽气的一种真空泵。（2）溅射离子泵：泵内被电离的气体吸附在由阴极连续溅射散出来的吸气材料上，以实现抽气目的的一种真空泵。低温泵：利用低温表面捕集气体的真空泵按其真空度可以分为：粗真空、高真空、超高真空三大类。
分子泵：分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。
环境的影响: 环境的影响主要是指被抽气体对体系的污染, 在钢液处置过程中, 钢液会放出很多的气体, 一起也会有一部分细微的氧化粉皮等小颗粒被吸入真空泵, 这些小颗粒会堆积粘附在泵体上,减小了抽气管路流导, 延长了抽气时刻, 下降了泵的抽气功能。经过长时间的理论探索, 咱们以为对泵的功能影响较大的主要有: 内走漏、蒸汽的影响、泵的布局的影响。
以上信息由专业从事水循环真空泵厂家的陕西屹达于2024/4/21 8:33:17发布
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